固体器件与集成技术研究室

 

　　 固体器件与集成技术研究室（简称集成室）主要侧重极大规模集成电路工艺技术、硅基微纳电子器件与集成技术的研究。研究室前身是集成电路工艺研究室，建有全国大专院校唯一的5英寸深亚微米集成电路开发与工业性试验线，拥有包括外延、光刻、刻蚀、离子注入、氧化扩散、薄膜溅射及WAT测试等多台大型设备在内的深亚微米集成电路成套工艺设备，超净实验面积960平方米，是中国北方微电子研究开发基地的重要组成部分和主要依托单位，也是教育部“固体器件与集成技术”工程研究中心的依托筹建单位。

       研究室现有教学科研人员12人，其中教授研究员1人，副教授、副研究员、高级工程师及高级实验师9人，讲师及助理研究员1人；另有实验室工程师、技术人员17人，退休返聘及合同制科研人员9人。