固体器件与集成技术研究室
400-6699-117转1000
主要研究方向
1) 新型微纳米材料及微纳电子器件技术
新型微纳米材料及高K介质材料研究
面向纳米尺度器件应用的应变沟道及高迁移率沟道技术
新型微纳电子器件、工艺及集成技术研究
极端条件应用SiGe/Ge器件与集成电路
2) 硅基微波功率器件及微波集成电路技术
高性能SiGe外延材料制备技术及选择性外延工艺研究
微波功率SiGe HBT及硅基微波集成电路（MMIC）研究
射频SiGe-BiCMOS集成工艺技术研究
新型高压功率及射频功率器件与BCD兼容工艺技术研究
3) 新型非挥发存储器件及集成电路技术
新型非挥发存储器件、材料、工艺及电路集成技术
特种应用非挥发存储器技术研究
嵌入式快闪存储器与存储器新应用技术研究
传感器处理电路及硅基集成传感器技术研究
4) 创新性集成电路专用设备及设备工艺
集成电路专用设备共性技术及设备工艺
SiGe超高真空外延系统（UHV-CVD）及材料外延技术
快速热退火及激光退火设备
