X射线光电子能谱技术（XPS）的的仪器结构
XPS仪器设计与最早期的实验仪器相比,有了非常明显的进展,但是所有的现代XPS仪器都基于相同的构造:进样室、超高真空系统、X射线激发源、离子源、电子能量分析器、检测器系统、荷电中和系统及计算机数据采集和处理系统等组成。
这些部件都包含在一个超高真空(Ultra High Vacuum,简称为UHV)封套中,通常用不锈钢制造,一般用μ金属作电磁屏蔽。
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XPS仪器设计与最早期的实验仪器相比,有了非常明显的进展,但是所有的现代XPS仪器都基于相同的构造:进样室、超高真空系统、X射线激发源、离子源、电子能量分析器、检测器系统、荷电中和系统及计算机数据采集和处理系统等组成。
这些部件都包含在一个超高真空(Ultra High Vacuum,简称为UHV)封套中,通常用不锈钢制造,一般用μ金属作电磁屏蔽。
