扫描探针显微镜(SPM)针尖
1、STM针尖:W丝、Pt-Ir丝。超高真空一般用W丝,通过电化学腐蚀、高温退火或原位处理以去除氧化层。大气中一般用Pt-Ir丝,直接剪切制成。
2、AFM针尖:Si、SiN4材料,通过微加工光刻的方法制备。
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