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台积电5nm SRAM技术细节解析(四)

2020.9.28

在写操作中,LCV使能信号(LCVEN)变为高电平,它关闭下拉NMOS(N1),以将电荷共享电容器C1与地断开。COL [n:0]选择一列以关闭P0,并将阵列虚拟电源轨CVDD [0]与真实电源VDDAI断开。由于金属线电容随存储单元阵列的缩小而缩小,因此它也有利于SRAM编译器设计,并在变化的BL配置下提供了相对恒定的电荷共享电压电平。电荷共享水平由CVDD的金属电容比和电荷共享金属走线决定。图10显示了三个LCV-VDD比率分别为6%,12%和24%。

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图10.三种LCV-VDD比率分别为6%,12%和24%。

关闭写辅助功能后,Vmin会受到写失败的限制。

图11中使用Write Assist的测量结果显示NBL将Vmin提高了300mV,而24% LCV则将Vmin提高了300mV以上。

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图11.(a)金属电容器增强的写辅助WAS-NBL方案和(b)金属电荷共享电容器WAS-LCV方案的测量结果。


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