YS/T 14-1991
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

Method for measuring the thickness of heteroepitaxial layer and silicon polycrystalline layer

YST14-1991, YS14-1991

被代替

2015-10

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标准号: YS/T 14-1991
别名: YST14-1991, YS14-1991
发布: 1991年
发布单位: 行业标准-有色金属
替代标准: YS/T 14-2015
当前最新: YS/T 14-2015

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