YS/T 14-2015
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

Method for measuring the thickness of heteroepitaxial layer and silicon polycrystalline layer

YST14-2015, YS14-2015

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标准号: YS/T 14-2015
别名: YST14-2015, YS14-2015
发布: 2015年
发布单位: 行业标准-有色金属
当前最新: YS/T 14-2015

被代替标准: YS/T 14-1991

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