ASTM E986-04(2017)
扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
ASTM E986-04(2017) 发布历史
ASTM E986-04(2017)由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2017-06-01。
ASTM E986-04(2017)在国际标准分类中归属于: 31.120 电子显示器件。
ASTM E986-04(2017) 发布之时，引用了标准
* 在 ASTM E986-04(2017) 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
ASTM E986-04(2017)的历代版本如下：
- 2017年 ASTM E986-04(2017) 扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
- 2004年 ASTM E986-04(2010) 扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
- 2004年 ASTM E986-04 扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
- 1997年 ASTM E986-97 扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
1.1 这种做法提供了一种可重复的方法，通过该方法可以表征扫描电子显微镜（SEM）性能的一个方面。 SEM 的分辨率取决于许多因素，其中一些因素是电子束电压和电流、透镜像差、样品对比度以及操作员-仪器-材料相互作用。然而，任何条件下的分辨率都受到电子束尺寸的限制。该尺寸可以通过测量多种材料的有效表观边缘锐度来量化，建议使用其中两种材料。这种做法需要 SEM 能够对建议的材料执行线扫描跟踪，例如生成 Y 偏转波形。这种做法适用的 SEM 放大倍数范围为 1000 至 50 000 ×。可以尝试更高的放大倍数，但预计难以进行精确测量。
1.2 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
1.3 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。
推荐
PET薄膜雾度透光率检测
双光束光学结构的解决了这个问题，与传统的单光束相比，双光束中的一条光束做测量，另外一条光束做监测、修正或补充，使测量结果稳定，双光束是雾度计行业发展方向。2、标准板溯源光学行业注重标准板溯源，因为这样可以确保仪器的测量值是真实数据值，有源可查。行业雾度标准板以NPL为溯源标准。3、符合标准符合ASTM、ISO、GB、JIS等雾度透光率等行业标准要求，满足不同区域行业用户的雾度透光率检测需求。...
未知结构材料剖析表征中常用九种仪器
▍成像原理：二次电子像是用扫描电子显微镜所获得各种图像中应用最广泛，分辨本领最高的一种图像。扫描电镜成像示意图▍测试设备：扫描电子显微镜▍主要功能：1、形貌分析：观察各种材料试样的微观形貌。2、结构分析：观察各种材料试样的晶粒、晶界及其相互关系。3、断口分析：确定金属材料的断裂性质。4、晶粒度分析：确定试样的晶粒尺寸、晶粒度。5、定性分析：确定试验中可检测的元素名称。...
结构表征，你不得不知道的九个仪器！
▍成像原理：二次电子像是用扫描电子显微镜所获得各种图像中应用最广泛，分辨本领最高的一种图像。扫描电镜成像示意图▍测试设备：扫描电子显微镜来源：仪器信息网▍主要功能：①形貌分析：观察各种材料试样的微观形貌。②结构分析：观察各种材料试样的晶粒、晶界及其相互关系。③断口分析：确定金属材料的断裂性质。④晶粒度分析：确定试样的晶粒尺寸、晶粒度。⑤定性分析：确定试验中可检测的元素名称。...
扫描电子显微镜是利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品
扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。...