ASTM E986-04(2017)
扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
- 标准号
- ASTM E986-04(2017)
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM E986-04(2017)
- 引用标准
- ASTM E7 ASTM E766
- 适用范围
- 1.1 这种做法提供了一种可重复的方法，通过该方法可以表征扫描电子显微镜（SEM）性能的一个方面。 SEM 的分辨率取决于许多因素，其中一些因素是电子束电压和电流、透镜像差、样品对比度以及操作员-仪器-材料相互作用。然而，任何条件下的分辨率都受到电子束尺寸的限制。该尺寸可以通过测量多种材料的有效表观边缘锐度来量化，建议使用其中两种材料。这种做法需要 SEM 能够对建议的材料执行线扫描跟踪，例如生成 Y 偏转波形。这种做法适用的 SEM 放大倍数范围为 1000 至 50 000 ×。可以尝试更高的放大倍数，但预计难以进行精确测量。
1.2 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
1.3 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。
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