ASTM E986-04(2017)
扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
ASTM E986-04(2017) 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- ASTM E986-04(2017)
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM E986-04(2017)
- 引用标准
- ASTM E7 ASTM E766
- 1.1 这种做法提供了一种可重复的方法，通过该方法可以表征扫描电子显微镜（SEM）性能的一个方面。 SEM 的分辨率取决于许多因素，其中一些因素是电子束电压和电流、透镜像差、样品对比度以及操作员-仪器-材料相互作用。然而，任何条件下的分辨率都受到电子束尺寸的限制。该尺寸可以通过测量多种材料的有效表观边缘锐度来量化，建议使用其中两种材料。这种做法需要 SEM ...
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