ASTM E986-97
扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践

Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization

被代替

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标准号

ASTM E986-97

发布

1997年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E986-04

当前最新

ASTM E986-04(2017)

 

 

适用范围

1.1 这种做法提供了一种可重复的方法来表征扫描电子显微镜（SEM）的性能。该性能是 SEM-操作员-材料组合的衡量标准，并通过测量多种材料的有效“表观边缘锐度”进行量化，建议使用其中两种材料。这种做法需要 SEM 能够对建议的材料执行线扫描跟踪（例如，偏转波形生成）。这种做法有效的 SEM 放大倍数范围为 1000 至 200 000 X。
1.2 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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