SJ/T 10152-1991由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1991-04-02,并于 1991-07-01 实施。
SJ/T 10152-1991 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备,在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。
SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语的最新版本是哪一版?
最新版本是 SJ/T 10152-1991 。
本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。 本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号