SJ/T 10481-1994
硅外延层电阻率的面接触三探针.测试方法
Test method for resistivity of silicon epitaxial layers by area contacts three-probe techniques
SJT10481-1994, SJ10481-1994
2010-02
- 标准号
- SJ/T 10481-1994
- 别名
- SJT10481-1994, SJ10481-1994
- 发布
- 1994年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 10481-1994
- 适用范围
- 本标准规定了测定硅外延层电阻率的面接触三探针方法。 本标准适用于0．06-60∩cm的N/N^(+)或P/P^(+)型硅外延层电阻率的测量。
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