IEC/TR 63258:2021
纳米技术.评估纳米薄膜厚度的椭偏仪应用指南
Nanotechnologies — A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
IEC/TR 63258:2021 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- IEC/TR 63258:2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- IEC/TR 63258:2021
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光谱椭偏仪你知道多少？
椭偏仪的适用样品范围很广，紫外至近红外波段透过半透过等材料都不在话下，也就是可以表征绝大部分的半导体和介电薄膜材料，甚至厚度在几十纳米以下的金属薄层也是囊中之物。 椭偏仪可以直接测量样品折射率和消光系数，也就是光的吸收强度； 在此基础上，我们可以鉴定样品的组分和带隙； 最后通过与强大的软件分析相结合，样品信息如厚度、粗糙度、均匀度、孔隙率、电导率等，在椭偏仪面前一览无余。 ...