找不到引用GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 的标准
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:电流互感器GB/T 22071.1-20082019-07-017GB/T 30269.808-2018信息技术 传感器网络 第808部分:测试:低速率无线传感器网络网络层和应用支持子层安全2021-01-018GB/T 36937-2018实验室仪器及设备环境意识设计2019-07-019GB/T 37006-2018数字化电能表检验装置2019-07-0110GB/T 37049-2018电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定...
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前言电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一,其杂质含量的高低直接影响下游晶圆制造产品质量,所以对其金属杂质含量的控制至关重要。本实验参照《GB∕T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》,采用LabMS 3000s ICP-MS测试电子级多晶硅中基体金属杂质含量。...
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