NS-EN ISO 14644-9:2012
洁净室和相关受控环境 第9部分：按颗粒浓度对表面清洁度进行分类（ISO 14644-9:2012）

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012)

标准号

NS-EN ISO 14644-9:2012

发布

2012年

发布单位

SCC

当前最新

NS-EN ISO 14644-9:2012

 

 

适用范围

ADOPTED_FROM:EN ISO 14644-9:2012 ISO 14644-9:2012 根据洁净室和相关受控环境应用中的颗粒浓度对固体表面的清洁度等级进行分类。同时还提供了有关测试和测量方法的建议以及有关表面特性的信息 ISO 14644-9:2012 适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，例如墙壁、天花板、地板、工作环境、工具、设备和产品。表面颗粒清洁度 (SPC) 分类仅限于 0.05 µm 至 500 µm 之间的颗粒。不考虑以下问题：对特定过程的表面清洁度和适用性的要求；表面清洁程序；材料特性；通常与时间和过程相关的交互式键合力或生成过程的参考；选择和使用用于分类和测试的统计方法；颗粒的其他特性，例如静电荷、离子电荷、微生物状态等。

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