ASTM E983-05
俄歇电子光谱法中最小化不需要的电子束效应的标准指南

Standard Guide for Minimizing Unwanted Electron Beam Effects in Auger Electron Spectroscopy

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标准号

ASTM E983-05

发布

2005年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E983-10

当前最新

ASTM E983-19

 

 

适用范围

1.1 本指南概述了俄歇电子能谱 (AES) 中不良电子束效应的起源和表现。
1.2 提供了一些关于最有可能产生这些效应的电子束参数的一般准则，并就如何最大限度地减少这些效应提供了建议。
1.3 确定最有可能表现出有害电子束效应的一般材料类别。此外，还提供了一些已观察到遭受电子损伤效应的特定材料的表格。
1.4 概述了一种简单的方法，用于在常规 AES 分析期间确定这些效应的存在和程度。
1.5 本标准并不旨在解决所有问题与其使用相关的安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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