仪器 主要包括四部分:①能够产生加速和聚焦一次离子束的离子源;②样品室和二次离子引出装置;③能把二次离子按质荷比分离的质量分析器;④二次离子检测和显示系统及计算机数据处理系统等(见图[离子探针质量显微分析仪])。应用 元素检测 能检测包括氢在内的、元素周期表上的全部元素,对不同的元素,检测灵敏度是不同的。...
针对半导体行业需求,可实现高纯(≥5N)铜、铝、钛、钽、钼等高纯溅射靶材中70种以上杂质元素快速检测;硅、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等基材从原料至晶圆的全元素杂质检测;SiC等外延片镀层化学成分及杂质含量分布。...
带有几千电子伏特能量的一次离子轰击样品表面,在轰击的区域引发一系列物理及化学过程,包括一次离子散射及表面原子、原子团、正负离子的溅射和表面化学反应等,产生二次离子,这些带电粒子经过质量分析分析后得到关于样品表面信息的质谱,简称二次离子质谱。...
二次离子质谱仪分 析对象包括金属及合金、半导体、绝缘体、有机物、生物膜等,应用领域包括化学、物理学 和生物科学等基础研究,并已遍及到微电子学、材料科学、催化、薄膜等领域。...
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