EN 62047-1:2016
半导体器件.微电机设备.第1部分:术语和定义

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions

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标准号: EN 62047-1:2016
发布: 2016年
发布单位: 欧洲电工标准化委员会
当前最新: EN 62047-1:2016

适用范围: IEC 62047-1:2016 defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices. This edition includes the following significant technical changes with respect to the previous edition: a) removal of ten terms; b) revision of twelve terms; c) addition of sixteen new terms.

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