EN 62047-1-2006
半导体器件.微电机设备.第1部分:术语和定义 IEC 62047-1:2005

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 1: Terms and definitions

 

 

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标准号
EN 62047-1-2006
发布日期
2006年06月01日
实施日期
废止日期
无
发布单位
IX-CENELEC

EN 62047-1-2006系列标准

EN 62047-10-2011 半导体器件.微型电机装置.第10部分:微型电机系统(MEMS)材料的微柱压缩试验 EN 62047-11-2013 EN 62047-12-2011 半导体器件.微型电机装置.第12部分:用微型电机系统(MEMS)结构谐振进行薄膜材料的弯曲疲劳试验方法 EN 62047-13-2012 半导体器件.微型电机装置.第13部分:测量微型电机系统(MEMS)结构胶粘强度的弯曲型和剪切型试验方法 EN 62047-14-2012 EN 62047-15-2015 EN 62047-16-2015 EN 62047-17-2015 EN 62047-18-2013 EN 62047-19-2013 EN 62047-2-2006 半导体器件微电机器件.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法 IEC 62047-2:2006 EN 62047-20-2014 EN 62047-21-2014 EN 62047-22-2014 EN 62047-25-2016 EN 62047-26-2016 EN 62047-3-2006 半导体器件.微电机器件.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片 EN 62047-4-2010 EN 62047-5-2012 EN 62047-6-2010 EN 62047-7-2011 半导体器件.微型电机装置.第7部分.射频控制与选择用MEMS BAW滤波器和双工器 EN 62047-8-2011 半导体器件.微型电机装置.第8部分:薄膜拉力特性测量的带状抗弯试验 EN 62047-9-2011 半导体器件.微型电机装置.第9部分:微型电机系统(MEMS)硅片的硅片键合强度测试

EN 62047-1-2006 中可能用到的仪器设备

紫外分析仪/紫外检测仪/紫外透射仪

谁引用了EN 62047-1-2006 更多引用

BS EN 60876-1-2014 纤维光学互连器件和无源元件. 纤维光学空间开关. 总规范 BS EN 62047-25-2016 半导体器件. 微型机电装置. 硅基MEMS制造技术. 微键合区拉压和剪切强度的测量方法 BS EN 62047-25-2016 半导体器件. 微型机电装置. 硅基MEMS制造技术. 微键合区拉压和剪切强度的测量方法 BS EN 60876-1-2014 纤维光学互连器件和无源元件. 纤维光学空间开关. 总规范


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