在仪器仪表、机床数控行业及其它领域,厚膜多层步线技术已成功用于数码显示管的译码、驱动电路,透明厚膜还用于冷阴极放电型、液晶型数码显示管的电极。 此外,厚膜技术在许多新兴的与电子技术交叉的边缘学科中也具有持续发展的潜力,有关门类有:磁学与超导膜式器件、声表面波器件、膜式敏感器件(热敏、光敏、压敏、气敏、力敏)、膜式太阳能电池、集成光路等。(end) ...
主要指标:亮度范围:0.1-2000 nit亮度精度:±2% (1 ~ 2000 nit)采样区域:<10 μm专题 2集成电路设备模组单层/多层薄膜厚度检测膜厚测量解决方案 filmX:多种测试系统形态,兼容不同膜厚测量场景,实现高精度、便捷的膜厚测量,适配产线使用。...
百层膜厚检测3D NAND制备的新挑战多层膜的制备是3D NAND的前道工序。由于层间应力的存在,工艺完成后的实际层厚与设计值相比会存在较大的偏差,因此多层膜的不均匀性对芯片生产的良率构成了严峻的挑战。...
主要指标:倾角误差:< 1°周期误差:< 2 nm检测效率:> 20 pcs/h单层/多层薄膜厚度检测- 集成电路设备模组 -膜厚测量解决方案 filmX:多种测试系统形态,兼容不同膜厚测量场景,实现高精度、便捷的膜厚测量,适配产线使用。...
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