CGA G-13-2016
硅烷和硅烷混合物的储存和处理
STORAGE AND HANDLING OF SILANE AND SILANE MIXTURES
- 标准号
- CGA G-13-2016
- 发布单位
- 美国压缩气体协会
- 适用范围
- 该标准管辖用于储存、转移或容纳硅烷或硅烷混合物的系统和来源的安装。该标准包括对硅烷气体储存和封闭使用系统的选址、设备设计、管道和控制以及制造和安装的指导。提供了与使用硅烷和硅烷混合物相关的操作步骤以及消防、气体监测、通风和相关保障措施的附加指南。
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