VDI 2083 Blatt 14-2008
Cleanroom technology - Airborne molecular contamination (AMC) in cleanrooms

Reinraumtechnik - Molekulare Verunreinigung aus der Reinraumluft (AMC)

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标准号

VDI 2083 Blatt 14-2008

发布日期

2008年04月01日

实施日期

2011年05月10日

废止日期

无

中国标准分类号

/

国际标准分类号

/

发布单位

VDI - Verein Deutscher Ingenieure

引用标准

32

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