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半导体产业发展至今经历了三个阶段:硅材料,砷化镓材料,再到以氮化镓、碳化硅为代表的宽禁带半导体(Wide bandgap semiconductor)。第一代半导体材料以硅为代表,引发了集成电路(IC)为核心的微电子领域迅速发展。第二代半导体材料以砷化镓为代表,使半导体材料的应用进入光电子领域,尤其是在红外激光器和高亮度的红光二极管等方面。...
[建]悬臂cantilever paddle 悬臂桨cap oxide 掩蔽氧化层capacitance 电容capacitance-voltage test(C-Vtest) 电容-电压测试capacitive coupled plasma 电容偶合等离子体capacitor 电容器 carbon tetrafluoride(CF4) 四氟化碳caro’s...
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