T/NXCL 004-2021 旋转硅靶材引用关系

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标准号: T/NXCL 004-2021
发布: 2021年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/NXCL 004-2021

本文件规定了旋转硅靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、外观质量、内部缺陷、旋转硅靶晶型、搭接率、表面质量和衬管材料。试验方法包括化学成分仲裁分析方法、物理性能检验方法以及物理规格、外观质量、内部缺陷、晶体形态、晶粒大小、搭接率、圆度和同轴度的测量方...

T/NXCL 004-2021
旋转硅靶材

Rotating silicon target

说明：

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