T/NXCL 004-2021
旋转硅靶材

Rotating silicon target

T/NXCL 004-2021 发布历史

T/NXCL 004-2021由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2021-11-11，并于 2021-11-11 实施。

T/NXCL 004-2021在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

T/NXCL 004-2021的历代版本如下：

• 2021年 T/NXCL 004-2021 旋转硅靶材

本文件规定了旋转硅靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、外观质量、内部缺陷、旋转硅靶晶型、搭接率、表面质量和衬管材料。试验方法包括化学成分仲裁分析方法、物理性能检验方法以及物理规格、外观质量、内部缺陷、晶体形态、晶粒大小、搭接率、圆度和同轴度的测量方法。检验规则包括检查和验收、组批、检验项目、仲裁取样和制样、检验结果的判定。

标准号

T/NXCL 004-2021

发布

2021年

发布单位

中国团体标准

当前最新

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