ASTM D5127-07
电子学和半导体工业用超纯水标准指南
Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries
- 标准号
- ASTM D5127-07
- 发布
- 2007年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM D5127-12
- 当前最新
- ASTM D5127-13(2018)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D1193 ASTM D1976 ASTM D2791 ASTM D3919 ASTM D4191 ASTM D4192 ASTM D4327 ASTM D4453 ASTM D4517 ASTM D5173 ASTM D5196 ASTM D5391 ASTM D5462 ASTM D5542 ASTM D5544 ASTM D5673 ASTM D5996 ASTM D5997 ASTM F1094
- 适用范围
- 1.1 本指南提供了与电子和半导体行业制造相关的水质建议。描述了六种水分类，包括线宽低至 0.09 微米的水。在所有情况下，建议都是针对配送点 (POD) 的水。
1.2 水用于在制造过程中清洗和漂洗半导体元件。水还用于清洁和蚀刻操作、制造蒸汽以氧化硅表面、制备光掩模以及沉积发光材料。其他应用包括固态器件、薄膜器件、通信激光器、发光二极管、光电探测器、印刷电路、存储器件、真空管器件或电解器件的开发和制造。
1.3 需要水的用户与此处描述的质量不同的水质应参考其他水标准，例如规范 D 1193 和指南 D 5196.1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
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