GB/T 5252-2006
锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
Germanium monocrystal.Inspection of dislocation etch pit density
GBT5252-2006, GB5252-2006
2021-05
- 标准号
- GB/T 5252-2006
- 别名
- GBT5252-2006, GB5252-2006
- 发布
- 2006年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 5252-2020
- 当前最新
- GB/T 5252-2020
- 被代替标准
- GB/T 5252-1985
- 适用范围
- 本标准适用于位错密度0cm-2～100000cm-2的n型和p型锗单晶棒或片的位错密度或其他缺陷的测量。观察面为（111）、（100）和（113）面。