ASTM E2244-11(2018)
使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法
Standard Test Method for In-Plane Length Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer
- 标准号
- ASTM E2244-11(2018)
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM E2244-11(2018)
- 引用标准
- ASTM E2245 ASTM E2246 ASTM E2444 ASTM E2530
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖了测量图案化薄膜面内长度（包括偏转）的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用光学干涉仪（也称为干涉显微镜）对其进行成像。
1.2 还有其他方法可以确定平面内长度。使用设计尺寸通常比使用光学干涉显微镜测量提供更精确的面内长度值。 （干涉测量通常比使用光学显微镜进行的测量更精确。）该测试方法适用于当干涉测量优于使用设计尺寸时（例如，测量面内偏转时以及在未经证实的情况下测量长度时）。制作工艺）。
1.3 本测试方法使用非接触式光学干涉显微镜，能够获取地形 3-D 数据集。它是在实验室进行的。
1.4 测量的最大面内长度由干涉显微镜在最低放大倍率下的最大视场确定。测量的最小偏转由干涉显微镜在最高放大倍率下的像素间距决定。
1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践，并在使用前确定监管限制的适用性。
1.6 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。
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