ASTM E2530-06
用Si(111)单原子层级对原子力显微镜进行次纳米位移级的Z倍率校准的标准规程

Standard Practice for Calibrating the Z-Magnification of an Atomic Force Microscope at Subnanometer Displacement Levels Using Si(111) Monatomic Steps

作废

标准号

ASTM E2530-06

发布

2006年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM E2530-06

 

 

适用范围

仔细使用此实践可以产生可追溯至 SI 长度单位的校准 z 放大率，在约 1 nm 的高度范围内不确定性 (k = 2) 约为 7%。
1.1 此实践涵盖了校准 z 尺度的测量程序使用 Si(111) 单原子阶梯高度样品的原子力显微镜。
1.2 应用 当原子力显微镜 (AFM) 在其最高水平的 z 放大倍数（即在z 位移的纳米和亚纳米范围。当 AFM 用于测量半导体、光学表面和其他高科技部件的表面时，需要这些测量范围。
1.3 以 SI 单位表示的值应视为标准。括号中给出的值仅供参考。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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