ASTM E2246-11e1
采用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer
- 标准号
- ASTM E2246-11e1
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E2246-11(2018)
- 当前最新
- ASTM E2246-11(2018)
- 引用标准
- ASTM E2244 ASTM E2245 ASTM E2444 ASTM E2530
- 适用范围
- 1.1 该测试方法涵盖了测量反射薄膜中应变梯度的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用光学干涉仪（也称为干涉显微镜）对其进行成像。不接受接触底层的悬臂进行的测量。 1.2 本测试方法使用非接触式光学干涉显微镜，能够获取地形 3-D 数据集。它是在实验室进行的。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
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