GB/T 43493.3-2023
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法

Non-destructive testing and identification criteria for defects in silicon carbide homoepitaxial wafers for power devices of semiconductor devices Part 3: Photoluminescence detection method of defects

GBT43493.3-2023, GB43493.3-2023


 

 

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标准号
GB/T 43493.3-2023
别名
GBT43493.3-2023
GB43493.3-2023
发布
2023年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 43493.3-2023
 
 

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