GB/T 43493.3-2023
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法

Non-destructive testing and identification criteria for defects in silicon carbide homoepitaxial wafers for power devices of semiconductor devices Part 3: Photoluminescence detection method of defects

GBT43493.3-2023, GB43493.3-2023

GB/T 43493.3-2023 发布历史

GB/T 43493.3-2023由国家质检总局 CN-GB 发布于 2023-12-28，并于 2024-07-01 实施。

GB/T 43493.3-2023 在中国标准分类中归属于: L90 电子技术专用材料，在国际标准分类中归属于: 31.080.99 其他半导体分立器件。

GB/T 43493.3-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法的最新版本是哪一版？

最新版本是 GB/T 43493.3-2023 。

GB/T 43493.3-2023的历代版本如下：

• 2023年 GB/T 43493.3-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法

标准号

GB/T 43493.3-2023

别名

GBT43493.3-2023
GB43493.3-2023

发布

2023年

发布单位

国家质检总局

当前最新

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