ASTM E2090-12(2020)
使用光学和扫描电子显微镜从洁净室刮水器释放的颗粒和纤维的尺寸分化计数的标准测试方法
Standard Test Method for Size-Differentiated Counting of Particles and Fibers Released from Cleanroom Wipers Using Optical and Scanning Electron Microscopy
- 标准号
- ASTM E2090-12(2020)
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM E2090-12(2020)
- 引用标准
- ASTM D1193 ASTM F25 ASTM F312 ISO 14644-1 ISO 14644-2
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖测试洁净室和其他受控环境中使用的所有擦拭布的与颗粒清洁度相关的特性。
1.2 该测试方法包括使用基于计算机的图像分析和计数硬件和软件来对密集颗粒负载的过滤器进行计数（见 7.7 – 7.9）。 虽然并非绝对必要使用该设备，但强烈建议提高计数的准确性、速度和一致性。
1.3 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。 本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践，并在使用前确定监管限制的适用性。
1.5 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。
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