ASTM E2090-12
利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
Standard Test Method for Size-Differentiated Counting of Particles and Fibers Released from Cleanroom Wipers Using Optical and Scanning Electron Microscopy
- 标准号
- ASTM E2090-12
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E2090-12(2020)
- 当前最新
- ASTM E2090-12(2020)
- 引用标准
- ASTM D1193 ASTM F25 ASTM F312 ISO 14644-1 ISO 14644-2
- 适用范围
- 该测试方法可以对浸入清洁溶液中并施加适度机械应力的擦拭器释放的颗粒和纤维进行准确且可重复的计数。如果执行正确，这种计数测试方法足够灵敏，可以量化非常低水平的总颗粒和纤维负荷。结果准确且不受伪影或粒径限制的影响。该技术的另一个优点是它可以对单个颗粒进行形态学和 X 射线分析。
1.1 该测试方法涵盖测试洁净室和其他受控环境中使用的所有擦拭器的与颗粒清洁度相关的特性。
1.2 该测试方法包括使用基于计算机的图像分析和计数硬件和软件来对密集颗粒过滤器进行计数（见 7.7-7.9）。虽然并非绝对必要使用该设备，但强烈建议提高计数的准确性、速度和一致性。
1.3 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
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