GB/T 25915.12-2021
洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
GBT25915.12-2021, GB25915.12-2021
- 标准号
- GB/T 25915.12-2021
- 别名
- GBT25915.12-2021, GB25915.12-2021
- 发布
- 2021年
- 采用标准
- ISO 14644-12:2018 IDT
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 25915.12-2021
- 适用范围
- 本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。 本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。 注1:本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上(纳米片)、。
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