GB/T 33236-2016
多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法

Polycrystalline silicon—Determination of trace elements—Glow discharge mass spectrometry method

GBT33236-2016, GB33236-2016


 

 

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标准号
GB/T 33236-2016
别名
GBT33236-2016, GB33236-2016
发布
2016年
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
当前最新
GB/T 33236-2016
 
 
引用标准
GB/T 6682 ISO/TS 15338:2009
适用范围
本标准规定了采用辉光放电质谱(GD-MS)法测量多晶硅中杂质元素的测试方法。 本标准适用于多晶硅材料中除氢和惰性气体元素以外的其他杂质元素含量的测定，测量范围是本方法的检出限至0.1%(质量分数)，检出限根据所用仪器及测量条件确定。通过合适的标准样品校正，也可以测量质量分数大于0.1%的杂质元素含量。单晶硅材料中痕量杂质元素也可参照本标准测量。

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