近年来,随着极大规模集成电路产业的发展,高纯氢氟酸、高纯硝酸的使用范围越来越广,面对技术指标不统一、执行标准不一致的现状,在全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会的组织下,ICAS英格尔协同国内外专业机构,共同起草制定了T/CNIA0117-2021《电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定 离子色谱法》以及T/CNIA0119-2021《电子工业用硝酸中痕量阴离子含量的测定...
SEMI组织在2018年C3.39-1011中,对三氟化氮的纯度要求要达到 99.98% 以上,对氟离子的限量要求为小于0.1ppm,用的是氟离子选择性电极测定方法。该方法操作繁琐,影响因素多,且重复性不佳。在GB/T21287-2021电子特气三氟化氮中 气体纯度要求达到5N级,氟离子的限量要求为0.5ppm,已采用离子色谱法测定氟离子的含量,分析效率大大提高。 ...
赛默飞采用阀切换方法,在第一次分离中将大部分的硫酸根基质去除,并富集收集氯离子、磷酸根和硝酸根;在第二次分离中将富集到的阴离子切换到同一根色谱柱中,实现分离和定量。由于难以找到不含氯离子、磷酸根和硝酸盐的空白样品,因此本实验采用的是标准加入法。离子色谱法测定硫酸铵中痕量阴离子,方法灵敏度高、专属性强,样品前处理简单,可用于控制硫酸铵中阴离子杂质的含量。请点击文末“阅读原文”下载原文!↓↓↓↓↓↓...
英格尔作为产业链的其中一环,已经具备标准编制即相关实验条件和分析能力,以创新技术为核心,协同国内外专业机构,共同起草制定了T/CNIA0117-2021《电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定 离子色谱法》以及T/CNIA0119-2021《电子工业用硝酸中痕量阴离子含量的测定 离子色谱法》2项标准。新冠疫情之下,医疗健康产业迎来爆发。...
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