T/CNIA 0117-2021
电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定离子色谱法

Determination of trace anion content in high-purity hydrofluoric acid for electronics industry Ion chromatography

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标准号: T/CNIA 0117-2021
发布: 2021年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/CNIA 0117-2021

适用范围: 本文件规定了离子色谱法测定电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子（氯化物、硝酸根、磷酸根、硫酸根）的方法。本文件适用于电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定。测定范围：10.000μg/kg～5000.000μg/kg。

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AENOR

UNE-EN 13656:2003 废物表征用氢氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和盐酸（HCl）混合酸进行微波辅助消解，用于随后的元素测定 UNE-ISO 14869-1:2007 土壤质量用于测定总元素含量的溶出度第1部分：用氢氟酸和高氯酸溶解（ISO 14869-1:2001）

AT-ON

OENORM EN 13656-2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消解，以便随后测定元素

BE-NBN

NBN T 03-513-1983 工业用含水氢氟酸．取样和试验方法

CH-SNV

SN EN 13656-2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消解，以便随后测定元素

台湾地方标准

CNS 4765-1986 不锈钢之硝酸–氢氟酸腐蚀试验法

行业标准-电力

DL/T 502.3-2006 火力发电厂水汽分析方法.第3部分:全硅的测定(氢氟酸转化分光光度法)

国家质检总局

GB/T 5195.9-1985 氟石化学分析方法 氢氟酸重量法测定二氧化硅量 GB/T 4334.4-2000 不锈钢硝酸 氢氟酸腐蚀试验方法 GB/T 12148-1989 锅炉用水和冷却水分析方法全硅的测定低含量硅氢氟酸转化法 GB/T 12148-2006 锅炉用水和冷却水分析方法全硅的测定低含量硅氢氟酸转换法 GB/T 6901.3-1986 硅质耐火材料化学分析方法 氢氟酸重量法测定二氧化硅量 GB/T 6901.3-2004 硅质耐火材料化学分析方法第3部分;氢氟酸重量法测定二氧化硅量

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DS/EN 13656:2003 废物表征用氢氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和盐酸（HCl）混合酸进行微波辅助消解，用于随后的元素测定 DS/EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物 - 用盐酸 (HCl)、硝酸 (HNO₃) 和四氟硼酸 (HBF₄) 或氢氟酸 (HF) 酸混合物进行消解，以便随后测定元素

法国标准化协会

NF ISO 14869-1:2001 土壤质量总元素含量测定第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解 NF ISO 21438-2:2010 工作场所空气离子色谱法测定无机酸第2部分：挥发性酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸） NF ISO 21438-3:2010 工作场所空气离子色谱法测定无机酸第3部分：氢氟酸和颗粒氟化物 NF X43-211-3*NF ISO 21438-3:2010 工作场所空气离子色谱法测定无机酸第3部分：氢氟酸和粒状氟化物 NF X31-428-3*NF ISO 14869-3:2017 土壤质量测定总元素含量的溶解法第3部分：使用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸溶解 NF ISO 14869-3:2017 土壤质量测定总元素含量的溶液处理第 3 部分：采用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸进行溶液处理 NF X30-435*NF EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和垃圾. 用盐酸(HCl)、硝酸(HNO3)和四氟硼酸(HBF4)或氢氟酸(HF)混合物进行消解,以便随后测定元素 NF X43-211-2*NF ISO 21438-2:2010 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第2部分:除了氢氟酸之外的挥发酸(盐酸、氢溴酸和硝酸) NF T20-337:1984 工业用含水氢氟酸.取样和试验方法 NF X31-428-1*NF ISO 14869-1:2001 土壤质量.为测定总元素含量进行的溶解作用.第1部分:使用氢氟酸和过氯酸的溶解 NF X43-304:2007 固定源辐射.用氢氟酸(HF)含量值表示的氟化物浓度的测量.人工法

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GSO

OS GSO ISO 14869-1:2014 土壤质量总元素含量测定溶解度第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解度 BH GSO ISO 14869-3:2022 土壤质量总元素含量测定的溶解度第3部分：采用加压微波技术的氢氟酸、盐酸和硝酸溶解度 BH GSO ISO 14869-1:2016 土壤质量总元素含量测定溶解度第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解度 GSO ISO 14869-1:2014 土壤质量总元素含量测定溶解度第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解度 GSO ISO 14869-3:2021 土壤质量总元素含量测定的溶解度第3部分：采用加压微波技术的氢氟酸、盐酸和硝酸溶解度

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欧洲标准化委员会

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国际标准化组织

ISO/DIS 21438-2 工作场所大气《离子色谱法测定无机酸》第2部分：挥发性酸，氢氟酸（盐酸、氢溴酸和硝酸）除外 ISO/FDIS 21438-2:2023 工作场所气氛离子色谱法测定无机酸第2部分：挥发性酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸） ISO 14869-1:2001 土壤质量元素总含量测定用分解第1部分：用氢氟酸和高氯酸的分解 ISO 14869-3:2017 土壤质量. 溶解测定元素总含量. 第3部分: 采用加压微波技术溶解氢氟酸, 盐酸和硝酸 ISO 21438-2:2009 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第2部分:除氢氟酸之外的挥发酸(盐酸,氢溴酸及硝酸) ISO 21438-3:2010 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第3部分:氢氟酸和氟化物微粒 ISO 3139:1976/Amd 1:1980 工业用含水氢氟酸 取样和试验方法修改1 ISO 3139:1976 工业用含水氢氟酸 取样和试验方法

日本工业标准调查会

JIS G 0574:1980 不锈钢用硝酸-氢氟酸试验方法 JIS K 1466:1995 半导体级氢氟酸的检验方法

韩国科技标准局

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KR-KS

KS M 1804-2008(2023) 半导体用氢氟酸试验方法 KS M ISO 3139-2016 工业用水氢氟酸取样和试验方法 KS I ISO 14869-1-2018 土壤质量 - 用于测定总元素含量的溶解度 - 第1部分:用氢氟酸和高氯酸溶解 KS I ISO 21438-2-2019 工作场所空气 - 离子色谱法无机酸测定 - 第2部分:易失性的酸除了氢氟酸（盐酸氢溴酸和硝酸） KS I ISO 21438-3-2022 工作场所大气无机酸的离子色谱测定第3部分:氢氟酸和颗粒氟化物

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RU-GOST R

GOST R ISO 21438-3-2012 工作场所的大气环境. 采用离子色谱法对无机酸的测定. 第3部分. 氢氟酸和粒状氟化物 GOST R ISO 21438-2-2012 工作场所的大气环境. 采用离子色谱法对无机酸的测定. 第2部分. 挥发酸, 氢氟酸除外 (盐酸, 氢溴酸和硝酸)

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DANSK DS/ISO 14869-3:2017 土壤质量测定总元素含量的溶解第3部分：使用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸溶解 DIN EN 13656 E:2019 文件草案土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸 (HCl)、硝酸 (HNO3) 和四氟硼酸 (HBF4) 或氢氟酸 (HF) 酸混合物消化以便随后测定元素德语和英语版本 prEN 13656... DANSK DS/EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸 (HCl)、硝酸 (HNO₃) 和四氟硼酸 (HBF₄) 或氢氟酸 (HF) 酸混合物进行消解以便随后测定元素 NS-EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸 (HCl)、硝酸 (HNO3) 和四氟硼酸 (HBF4) 或氢氟酸 (HF) 酸混合物消解以便随后测定元素

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ASTM D1977-98 氢氟酸/硫酸分解和原子光谱分析FCC平衡催化剂中镍和钒的标准试验方法 ASTM D1977-16 采用氢氟酸和硫酸分解和原子光谱分析法测定FCC平衡催化剂中镍和钒的标准试验方法 ASTM D1977-22 氢氟酸/硫酸分解和原子光谱分析FCC平衡催化剂中镍和钒的标准试验方法

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