T/ZGM 011-2023
半导体行业超纯水制备终端用超滤膜组件产品认证技术要求

Technical requirements for product certification of ultrafiltration membrane module for ultrapure water in the semiconductor industry


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标准号
T/ZGM 011-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ZGM 011-2023
 
 
超滤膜元件适用范围、规范性引用文件、术语和定义、技术要求和测试方法等。

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