磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范, 您可以免费下载预览页
该生产线采用的工艺路线是将铟锡合金材料利用直流磁控溅射的原理沉积到基片的表面,并进行高温氧化处理,将铟锡合金薄膜转换成所需的ITO薄膜。这种生产线的特点是设备的产能较低,质量较差,工艺调节复杂。 90年代中期,随着国内LCD产业的发展,对ITO产品的需求量增大的同时,对产品的质量有了新的要求,因此出现了第二代ITO镀膜生产线。...
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