T/CMES 32001-2023
磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范

Process specification for preparing tungsten-rhenium alloy indium-tin oxide composite thin film thermocouple temperature sensor by magnetron sputtering method

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标准号

T/CMES 32001-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CMES 32001-2023

 

 

适用范围

本文件给出了磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范及相关规定。

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