T/CMES 32001-2023
磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范

Process specification for preparing tungsten-rhenium alloy indium-tin oxide composite thin film thermocouple temperature sensor by magnetron sputtering method

T/CMES 32001-2023 发布历史

T/CMES 32001-2023由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2023-06-21，并于 2023-07-21 实施。

T/CMES 32001-2023在国际标准分类中归属于: 73.080 非金属矿。

T/CMES 32001-2023 磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范的最新版本是哪一版？

最新版本是 T/CMES 32001-2023 。

T/CMES 32001-2023的历代版本如下：

• 2023年 T/CMES 32001-2023 磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范

本文件给出了磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范及相关规定。

标准号

T/CMES 32001-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CMES 32001-2023

 

 

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