T/IAWBS 008-2019
SiC晶片的残余应力检测方法

Experimental method for residual stress in SiC wafers


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T/IAWBS 008-2019

标准号
T/IAWBS 008-2019
发布
2019年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/IAWBS 008-2019
 
 
近年来,以碳化硅(SiC)为代表的第三代半导体材料引发全球瞩目。由于其具有禁带宽、击穿电场强度高、饱和电子迁移率高、热导率大、介电常数小、抗辐射能力强等优点,可广泛应用于新能源汽车、轨道交通、智能电网、半导体照明、新一代移动通信、消费类电子等领域,被视为支撑能源、交通、信息、国防等产业发展的核心技术,全球市场容量未来将达到百亿美元,已成为美国、欧洲、日本半导...

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