DIN 50438-1-1995
半导体工艺材料检验.用红外吸收法测量硅的杂质含量.第1部分:氧

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurity content in silicon by infrared absorption - Part 1: Oxygen

DIN 50438-1-1995 发布历史

This document specifies two methods for the non-destructive determination of the oxygen content in silicon by infrared absorption.

DIN 50438-1-1995由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 1995-07。

DIN 50438-1-1995 在中国标准分类中归属于: H17 半金属及半导体材料分析方法，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

DIN 50438-1-1995的历代版本如下：

• 1995年07月 DIN 50438-1-1995 半导体工艺材料检验.用红外吸收法测量硅的杂质含量.第1部分:氧

标准号

DIN 50438-1-1995

发布日期

1995年07月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

29.045

发布单位

DE-DIN

适用范围

This document specifies two methods for the non-destructive determination of the oxygen content in silicon by infrared absorption.

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