GB/T 30656-2023
碳化硅单晶抛光片

Silicon carbide single crystal polished wafer

GBT30656-2023, GB30656-2023

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标准号

GB/T 30656-2023

别名

GBT30656-2023, GB30656-2023

发布

2023年

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 30656-2023

 

 

被代替标准

GB/T 30656-2014

《GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片》是一种用于半导体制造和光学领域的关键材料。该标准规定了碳化硅单晶抛光片的技术要求、试验方法、检验规则和包装、运输要求等内容。 碳化硅单晶抛光片具有优异的物理和化学性质，适用于制造高性能半导体器件和光学元件。其主要特点包括高硬度、低摩擦系数、优异的化学稳定性和热稳定性、高热导率等。碳化硅单晶抛光片具有出色的抛光效果，能够快速而均匀地去除材料表面的缺陷、污染物和氧化层，从而提高器件和元件的表面光洁度和平整度。 该标准对碳化硅单晶抛光片的技术要求进行了详细规定，包括尺寸、外观质量、物理性能、化学性能等方面。通过严格的试验方法和检验规则，确保了碳化硅单晶抛光片的质量稳定可靠。标准还对包装和运输要求进行了规定，以确保产品在运输过程中不受损坏。 《GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片》的颁布对于推动半导体制造和光学领域的发展具有重要意义。该标准的实施将提高碳化硅单晶抛光片的质量水平，促进相关行业的技术进步和产品创新。同时，该标准的应用还有助于提高产品的一致性和互换性，降低生产成本，提高市场竞争力。 总之，《GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片》是一项重要的标准，它规定了碳化硅单晶抛光片的技术要求和质量控制标准，为半导体制造和光学领域的发展提供了可靠的指导。该标准的推行将进一步促进相关行业的技术创新和产品升级，为市场提供更高质量的碳化硅单晶抛光片产品。

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