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高纯气体广泛应用于电子产品、半导体集成电路、TFT-LCD电真空器件、光电器件和光导纤维等生产过程,半导体集成电路生产所需高纯气体的品种多、用量较大、纯度和杂质含量要求都十分严格,需要对气体中微量(ppm)、痕量(ppb)级成分进行分析。...
聚光科技ICP-MS(等离子体质谱分析仪)自2020年全力推进半导体领域,近期,部分产品(科学仪器)实现集成电路制造头部企业测试,目前产品稳定运行。公司于2015年分拆自身质谱业务成立子公司谱育科技。谱育科技已掌握多个质谱分析技术平台,针对半导体行业检测需求,推出一系列高精度检测仪器及在线监测系统,助力行业突破“卡脖子”关键技术。...
01聚光ICP-MS新进展聚光科技ICP-MS(等离子体质谱分析仪)自2020年全力推进半导体领域,近期,部分产品(科学仪器)实现集成电路制造头部企业测试,目前产品稳定运行。02半导体行业公司于2015年分拆自身质谱业务成立子公司谱育科技。谱育科技已掌握多个质谱分析技术平台,针对半导体行业检测需求,推出一系列高精度检测仪器及在线监测系统,助力行业突破“卡脖子”关键技术。...
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