DIN 50452-3:1995
半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第3部分:光学粒子计数器校正

Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters


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DIN 50452-3:1995

标准号
DIN 50452-3:1995
发布
1995年
发布单位
德国标准化学会
当前最新
DIN 50452-3:1995
 
 
该文件描述了基于激光散射测量来确定颗粒尺寸偏差、颗粒浓度和光学颗粒计数器分辨能力的测量方法。

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