DIN 50452-3:1995
半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第3部分:光学粒子计数器校正
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters
- 标准号
- DIN 50452-3:1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50452-3:1995-10
- 当前最新
- DIN 50452-3:1995-10
- 该文件描述了基于激光散射测量来确定颗粒尺寸偏差、颗粒浓度和光学颗粒计数器分辨能力的测量方法。
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