找不到引用DIN 50452-3:1995 半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第3部分:光学粒子计数器校正 的标准
10、颗粒杂质与粒子计数器 He2Ne激光粒子计数器,可分析气体中011μm粒径的颗粒杂质;Ar2Kr激光粒子计数器可分析0105μm粒径颗粒杂质,目前已有可检测超高纯气中01005μm的粒子计数器。凝聚核粒子计数器可以测量纳微米的粒子。粒子计数器测量器具销售时具需按JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》的要求出具法定校准证书。...
请颗粒杂质与粒子计数器He2Ne激光粒子计数器,可分析气体中011μm粒径的颗粒杂质;Ar2Kr激光粒子计数器可分析0105μm粒径颗粒杂质,目前已有可检测超高纯气中01005μm的粒子计数器。凝聚核粒子计数器可以测量纳微米的粒子。粒子计数器测量器具销售时具需按JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》的要求出具法定校准证书。...
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